特点与用途

XPS是进行样品表面元素组成及化学态分析的重要实验技术之一，其探测深度在10 nm以内，可检测元素周期表中除H, He以外的几乎所有元素。可做以下几个方面的分析研究：

（1）对样品表面元素进行定性、定量分析；

（2）可分析元素的化学状态（包括元素价态、晶格位置和化学环境等）；

（3）对薄膜样品进行深度分布分析，给出元素随样品深度分布信息；

（4）对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像。

技术指标

（1）最佳能量分辨率£ 0.45 eV；

（2）最佳空间分辨率£ 3 μm（XPS成像）；

（3）单色光源最佳灵敏度：1,000,000 cps (AlKα 0.60eV Ag3d5/2峰)；

（4）分析室最佳真空度可达1.7´10-10 mbar；

（5）离子枪束斑< 150 μm。