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扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）

发布者： [发表时间]：2019-07-29 [来源]： [浏览次数]：

特点与用途

可测量直径200mm的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。

技术指标

扫描范围：90um(x,y) 6um(z)

扫描非线性：<1.5%